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3. Diffusion
1. Diffusion
- 입자 농도(화학적 포텐셜)의 기울기(Gradient) + 열에너지, Scattering에 의한 Random Motion에 의해 발생
- Random Motion : 고농도 / 저농도측 모두 입자가 랜덤한 양으로 이동경계를 통과하는 입자수는 고농도측 입자가 더 많음결과적으로 시간이 지나면 두 영역이 평형 상태가 됨
- 높은 농도에서 낮은 농도로 입자가 이동(재분배)
- 평형 상태가 될 때까지 이동
- 반도체의 경우 Charged Particle에 의해 Diffusion이 끝나도 같은 농도가 아닐 수 있음
2. Diffusion Current
- Diffusion에 의한 입자 흐름
- diffusion flux = -(diffusion Coefficient)×Grad(Concentration)
- 가 ( - ) : diffusion은 농도가 감소하는 쪽으로 발생
- 전자 diffusion current density :
- 전자 diffusion은 농도가 낮은 쪽으로 이동
- 전자와 전류의 방향은 반대이므로 는 ( + )
- 정공 diffusion current density :
- hole diffusion은 농도가 낮은 쪽으로 이동
- hole diffusion과 current 같은 방향이므로 는 ( - )
- Total Current = Drift + Diffusion
- hole :
- electron :
- Drift Current는 전기적 포텐셜에 영향을 많이 받아 Majority Carrier의 영향을 크게 받지만Diffusion Current는 농도차의 영향을 받으므로 Major 뿐 아니라 Minority Carrier의 영향 역시 유의미하게 존재한다.
- Built-in Electric Field
- 캐리어 농도가 불균일한 상태로 평형 상태가 되도록 하는 힘
- 일 때 equilitbrium
- equilibrium일 때 전류밀도의 식을 이용하면
- electric field
- equilibrium 상태여도 농도차의 항 는 존재
- uniform doping 인 경우 , electric field=0
- 불균일한 doping인 경우 평형 상태에서 이 되기 위해 built-in electric field가 존재하게 됨.
- Hot Point Probe Measurement
- 온도가 높은 probe와 낮은 probe 사이에 전류계를 연결
- hot probe 쪽의 입자가 더 활발하게 움직이는 점을 이용한 전류 측정
- p-type 입자가 더 많은 경우 전류가 ( - ), n-type입자가 더 많은 경우 ( + )
3. Energy Band Diagram
- 가로축 : x 방향
- 원점의 valance band를 로 가정
- reference energy를 기준으로
- electron potential energy :
- hole potential energy :
- conduction band 초과치 : electron kinetic energy
- valance band 초과치 : hole kinetic energy
- total energy = kinetic + potential
- Electic potential
- 대신 값이 들어갈 수 있음
- heavy doping이 아닌 이상 는 parallel
- 이전 그림에서 는 x에 비례하여 감소하므로 전위는 증가
- Electric Field
- 전위가 중간에 증가하고 양 끝단에서는 일정 값을 유지하므로 중간 지점에서 강하게 나타남
- Charge Density
- Equilibrium
- 모든 순/역방향 캐리어 이동이 동등한 상태
- 물리적 관측량은 변화가 없음
- 일정한 fermi level :
- Net current가 0 :
- Net carrier generation/recombination이 0 : nondegenerate 반도체에서
- 불균일 도핑의 경우 diffusion에 의한 전류를 drift 전류가 상쇄한다(built-in electric field)
4. Band Bending
- 불균일한 도핑이나 applied electric field는 nonzero electric field, chage imbalance를 유발
- nonzero electric field : potential 에너지의 기울기 존재, band banding 발생
- electron/hole drift 전류가 존재
- drift 전류 상쇄를 위한 diffusion current 존재
- the law of detailed balance : equilibrium 상태에서 총 electron/hole 전류는 0, 페르미 준위는 constant ()
- equilibrium = 페르미 준위가 상수이고, 하나의 값을 갖는 상태
- 상수 페르미 준위 = 전자/정공 전류는 0
- 단일 페르미 준위 = 캐리어 생성/결합 비율이 동일
- non-uniformly doped semiconductor
- 이온화된 donor는 (+), 전자(n)은 (-) charge
- 가운데는 donor가 더 많아 전하밀도가 (+), 양 끝은 전자가 많아 (-)
- 전하밀도 는 전계의 기울기이므로 기함수 형태의 전계 그래프가 형성
- 는 상수이고, 양 끝단에서는 가 작고 중앙에서는 커지는 모양을 형성하여야 함
- 의 식을 만족하기 위해 도 같은 모양을 형성
5. Einstein Relationship
- Constancy of Fermi level in Equilibrium
- 임의 지점 1, 2에서의 fermi level을 로 가정
- 이 지점에서의 온도를 로 가정
- 입자의 이동 비율 ,
- equilibrium일 때
- 모든 E에 대해
- 즉,
- Detailed Balance
- equilibrium 상태에서
- Einsetin Relationship
- diffusion current는 donor 농도가 높아지는 쪽으로 이동
- drift current는 Energy Band level이 높아지는 쪽으로 이동
- equilibrium 상태에서
- (electric field = intrinsic band level의 미분값)
- 이므로
- 전자의 einstein relationship :
- 정공의 einstein relationship :
- einsteint relationship : 물질 간의 관계 - equilibrium 여부와는 무관
- diffusion coefficient(by diffusion)와 mobility(by drift) 둘 다 scattering에 영향을 받기 때문에, 비례관계를 갖게 된다.
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